Этап 3 НИР «Исследование и разработка перспективного комплекса нового поколения нормативно-методических документов для обеспечения повышения достоверности и сопоставимости исследований и испытаний микросхем интегральных на содержание паров воды внутри корпусов путем создания макетов калибровочных капсул и экспериментальной установки для исследований газового состава подкорпусного пространства микросхем», шифр «Влага-23» (Госзакупка 0173100009523000111 - Москва №111436303)